台湾专利TW201306074A 檢查物的高速放電的系統及方法

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一種帶電粒子束系統之調變器經配置以產生提供至電感器之調變信號，該電感器接收調變信號且藉由電感來調變帶電粒子束系統之電源電壓信號。電源電壓信號之調變改變由帶電粒子束系統產生的帶電粒子束之焦距。
公开号:TW201306074A
申请号:TW100133626
申请日:2011-09-19
公开日:2013-02-01
发明作者:Tuvia Biber；Efim Kerner
申请人:Applied Materials Israel Ltd；
IPC主号:H01J37-00

专利说明:
檢查物的高速放電的系統及方法
本發明係關於帶電粒子束系統，且特定言之，本發明係關於一種調變器，該調變器用於提供調變電源電壓信號，以改變此等系統之帶電粒子束之焦距。
帶電粒子束柱通常用於掃描電子顯微術(scanning electron microscopy;SEM)，該SEM為廣泛用於製造半導體晶圓、用於CD測量工具(亦即所謂的臨限尺寸掃描電子顯微鏡(critical dimension scanning electron microscope;CD-SEM))及缺陷再檢測SEM(defect review SEM;DR-SEM)中的已知技術。
在SEM中，待檢驗之樣本區域藉助於帶電粒子(通常是電子)之初級聚焦束進行二維掃描。利用初級電子束對樣本之輻射釋放次級(及/或反向散射)電子。次級電子在初級電子束入射的樣本之該側被釋放且向後移動，以藉由偵測器擷取次級電子，該偵測器產生與如此偵測的電流成比例之輸出電氣信號。次級電子之能量及/或能量分佈指示樣本之性質及組成。
在以下以引用之方式併入本文之美國專利申請案中說明各種CD-SEM及量測臨限尺寸之方法：Su的標題為「Integrated critical dimension control for semiconductor device manufacturing」的美國專利申請公開案第2003/0015699號；Wu的標題為「Method of evaluating reticle pattern overlay registration」的美國專利申請公開案第2005/0048654號；Petrov等人的標題為「Method and system for use in the monitoring of samples with a charged particles beam」的美國專利申請公開案第2004/0173746號；Petrov等人的標題為「Deflection method and system for use in a charged particle beam column」的美國專利申請公開案第2004/0056207號；Petrov等人的標題為「Charged particle beam column and method for directing a charged particle beam」的美國專利申請公開案第2003/0218133號及Petrov等人的標題為「Charged particle beam apparatus and method for inspecting samples」的美國專利申請公開案第2003/0209667號。
SEM包括諸如電子束源(形成有稱為「電子槍」的較小尖端)、電子束柱及偵測器單元之主要構造部分。偵測器單元可位於穿過該柱之初級射束的傳播路徑外部，或偵測器單元可位於初級射束之路徑中(所謂的「柱中」或「透鏡中」偵測器)。電子束柱尤其包括由透鏡組件及偏轉器組件形成的射束聚焦/偏轉配置。初級射束之偏轉提供掃描樣本上之掃描區域內的射束，且亦提供調整將初級射束入射至樣本上(入射角及/或束移位)，以及將次級射束定向至偵測器。
為了獲得高解析度，SEM在使用極高的加速電壓時，用極窄的光斑掃描樣本。具體而言，當將電子加速至較高動能時，電子光學元件更有效(亦即，產生更小的像差)。用此狹窄的光斑掃描樣本會使樣本沿著帶電粒子束之掃描路徑帶電。
量測之精確性(諸如，對於半導體晶圓及尤其對於微影遮罩(主光罩)之CD量測)通常遭受由帶電粒子之掃描束造成的樣本表面此種帶負電過程，此舉引起影像漂移。美國專利第6,555,815號讓渡給本申請案之受讓人，該專利揭示帶電粒子束柱，其中避免了試樣帶電或藉由將惰性氣體注入樣本表面上來減少試樣帶電。
根據本發明之一實施例，提供一種帶電粒子束系統，且該帶電粒子束系統可包括：帶電粒子束(例如，電子束)源，該帶電粒子束源經配置以產生帶電粒子束；帶電粒子束控制器，該帶電粒子束控制器經配置以藉由經由多個電源接線發送多個電源電壓信號至該帶電粒子束源，來控制該帶電粒子束源；以及調變器，該調變器可經配置以藉由電感來調變多個電源電壓信號中之電源電壓信號，以提供改變帶電粒子束之焦距的調變電源電壓信號。
根據本發明之另一實施例，提供一種調變器，且該調變器可包括：調變信號產生器，該調變信號產生器經配置以產生調變信號；以及電感器，該電感器經配置以接收調變信號及藉由電感執行電源電壓信號之調變，該電源電壓信號通過電源接線，以提供調變電源電壓信號；其中電源電壓信號之調變改變帶電粒子束系統(例如，電子束系統)之焦距，該帶電粒子束系統包括該調變器。電源電壓信號之調變可使帶電粒子束散焦。
電源接線可包括輸入及輸出，該輸入耦接至帶電粒子束控制器，該輸出耦接至帶電粒子束源；其中電感器位於接近該輸出處。
電感器可包括：初級繞組，該初級繞組經配置以接收調變信號；以及線圈，其中電源接線通過由該線圈界定之孔。
調變信號產生器可經配置以產生調變信號，其中該調變信號可包括週期信號之多個重複。在一些實例中，該調變信號可包括週期信號之至少十個重複，該週期信號具有至少十百萬赫之頻率。此外，該調變信號產生器可經配置以在帶電粒子束之回掃期期間產生調變信號。
該調變信號產生器可另外或以其他方式經配置以重複地產生該調變信號，且該電感器可經配置以藉由電感重複地調變該電源電壓信號。
在一些情況下，該電感器可經配置以藉由電感來調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等調變電源電壓信號。該電感器可經配置以調變多個電源電壓信號，而不改變該多個電源電壓信號之間的關係。該多個電源電壓信號可為燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓。
根據本發明之又一實施例，提供一種用於調變帶電粒子束系統之電源電壓之方法，且該方法可包括以下步驟：藉由調變信號產生器產生調變信號；以及回應於該調變信號且藉由電感來調變通過電源接線之電源電壓信號，以提供調變電源電壓信號；其中該電源電壓信號之調變改變帶電粒子束系統之焦距。特定言之，電源電壓信號之調變可使由帶電粒子束系統產生的帶電粒子束散焦。
該方法可包括以下步驟：藉由位於電源接線之輸出附近的電感器調變電源電壓信號，其中該輸出耦接至帶電粒子束源。在一些實例中，該方法可包括以下步驟：藉由可包括週期信號之多個重複的調變信號來調變；例如，藉由包括週期信號之至少十個重複的調變信號調變，該週期信號具有至少十百萬赫之頻率。
在本發明之一些實施例中，該調變信號可產生於帶電粒子束之回掃期期間。此外，該方法可包括重複產生調變信號及調變電源電壓信號。
該方法可包括以下步驟：藉由電感調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等調變電源電壓信號。該多個電源電壓信號可經調變，而不改變該多個電源電壓信號之間的關係。該多個電源電壓信號可為燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓。
根據本發明之又一實施例，提供一種用於控制帶電粒子束之方法，該方法可包括以下步驟：藉由帶電粒子束源產生帶電粒子束；藉由經由多個電源接線發送多個電源電壓信號控制該帶電粒子束源；以及藉由電感調變多個電源電壓信號中之電源電壓信號，以提供改變帶電粒子束之焦距的調變電源電壓信號。
該方法可包括以下步驟：在影像擷取週期期間獲得樣本之區域的影像；以及調變電源電壓信號及允許該電源電壓信號在閒置期期間經調變之後穩定化；其中影像擷取週期跟隨閒置期之後。
在以下實施方式中，闡述了眾多具體細節，以提供對本發明之透徹理解。然而，熟習此項技術者應理解，本發明可在無此等具體細節的情況下進行實踐。在其他實例中，未詳細描述熟知方法、程序及組件，以便不使本發明難以理解。
根據本發明之各個實施例，提供了調變器及包括調變器之系統。藉由電感調變一或更多電源電壓信號，該一或更多電源電壓信號影響帶電粒子束之焦距。尤其當將此調變鄰近應用於電源電壓信號之輸出時，此調變可包括極高速調變。調變信號之變化速率可比電源電壓信號產生器及電源接線之回應速率快得多。
藉由調變信號調變電源電壓信號可允許調變信號極迅速地穩定化，該調變信號包括具有極高頻率之週期信號。電源電壓信號之調變可使帶電粒子束散焦，且因此使樣本之區域放電，該樣本在藉由聚焦改變的粒子束成像時帶電。
根據本發明之各個實施例，提供了調變器。此調變器之非限制性實例圖示於第1圖至第4圖中。
參閱在第1圖中所闡述的實例，調變器900可包括調變信號產生器500及電感器400，該調變信號產生器500經配置以產生調變信號。該電感器可包括線圈420及兩個初級繞組430及440，或該電感器可包括在此項技術中已知的任何其他電感器。例如，該電感器可具有一或更多線圈。調變信號999可為多個調變信號之疊加，如第5圖中所示。
電感器400可經配置以接收該調變信號及藉由電感執行通過電源接線(諸如，電源接線210、220、230及240中之任何電源接線)之電源電壓信號之調變，以提供調變電源電壓信號(諸如，第6圖之調變電源電壓信號750)。電源電壓信號之調變改變帶電粒子束152之焦距，該帶電粒子束152由帶電粒子束源100產生。
電源電壓信號之調變可使帶電粒子束152散焦。散焦之量回應於調變之強度，且散焦之量回應於電源電壓信號之改變與焦距改變之間的比率。
根據本發明之實施例，該調變電源電壓信號可為燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓中之任一者。
可對可影響帶電粒子束152之焦距的任何電源電壓信號進行調變。第1圖至第4圖圖示所有此等信號之調變，但此調變未必為本發明之所有實施例的情況。
第1圖至第4圖圖示藉由電感來調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等多個調變電源電壓信號。多個電源電壓信號之調變可影響此等電源電壓信號之間的關係，但此影響未必是發生的情況。舉例而言，第1圖至第4圖圖示，多個電源電壓信號受到相同調變，以便該多個電源電壓信號之間的關係維持不變。當調變並不改變供應至帶電粒子源100的電流時，此舉可能是有益的，因為電壓差保持不變。
參閱第1圖至第4圖，電源電壓信號為：
抑制器電壓，該抑制器電壓由抑制器電壓供應器320提供，且該抑制器電壓通過電源接線220，以將抑制器電壓提供至帶電粒子束源100之電極120。
提取器電壓，該提取器電壓由提取器電壓供應器330提供，且該提取器電壓通過電源接線210，以將提取器電壓提供至帶電粒子束源100之電極110。
燈絲電壓，該燈絲電壓由燈絲電壓供應器310供應，以提供兩個電源接線230與240之間的電壓差，且該燈絲電壓允許燈絲電流通過帶電粒子束源100之電極130及132。
所有此等電源電壓信號在由加速電壓供應器340提供的加速電壓上行進(或浮動)。
在此項技術中已知此種帶電粒子束控制器300。帶電粒子束控制器300可提供穩定電壓，且可能不需要帶電粒子束控制器300來執行以上所提及的電源電壓信號中之任一者之高速改變；因此，帶電粒子束控制器300可提供低雜訊電源電壓信號。
帶電粒子束源100包括尖端150，尖端150發射帶電粒子束152，且帶電粒子束源100亦包括接地電極140，接地電極140連接至電氣接地且連接至電纜200之絕緣護套。第1圖將帶電粒子束圖示為撞擊在樣本1111上。
第1圖之每一電源接線圖示為位於介電絕緣體內，且所有介電絕緣體位於絕緣護套內。應注意，可提供其他類型的電纜。
每一電源接線可包括輸入及輸出，該輸入連接至帶電粒子束控制器300，該輸出耦接至帶電粒子束源100。為闡釋簡單起見，第1圖圖示電纜200之輸入201及電纜200之輸出202，而不圖示電源接線210、220、230及240之個別輸入及輸出。
電感器400可位於接近輸出202處。應注意，藉由將電感器400置放於輸出202附近，調變信號「看」不見電源接線之整個電容及電阻，且因此該等調變信號並不(由速度)限制於由整個電源接線支配的回應週期。換言之，一旦調變在電源接線之輸出附近經執行，則該調變不需要通過整個電源接線，且該調變可立即影響通過電源接線之電源電壓信號。調變電源電壓信號不需要經由整個電源接線傳播或受到帶電粒子束控制器300之慢回應週期的限制，且因此調變電源電壓信號可藉由調變極迅速地改變。
電感器400可包括初級繞組及線圈420，該初級繞組經配置以接收調變信號。根據本發明之實施例，調變信號產生器500連接至兩個初級繞組430及440，但僅一個初級繞組在任何給定時刻被啟動，以便初級繞組430及440可有效地視為單一初級繞組。
通過由線圈420界定的孔之每一電源接線視為次級繞組。因此，提供1:1之繞組比率。應注意，可提供其他比率。更多初級繞組將導致調變信號之分壓，例如，若提供1:2之比率，則調變信號之10伏特的增加將導致調變電源電壓信號之約5伏特的增加。
根據本發明之實施例，調變信號產生器500經配置以產生調變信號，以包括週期信號之多個重複。一旦使用更高頻率信號，則調變結束之後的電源電壓信號之穩定化可更短。因此，使用高頻率週期信號有助於縮短電源電壓信號之穩定週期。調變信號可包括週期信號之至少十個重複，且該週期信號之頻率可具有至少十百萬赫芝頻率。
帶電粒子束之散焦可與帶電粒子束之掃描描描被同時執行。舉例而言，調變信號產生器500可經配置以在帶電粒子束之回掃期之至少一部分期間產生調變信號，且調變信號產生器500可經配置以另外或替代性地在帶電粒子束之預掃描週期之至少一部分期間產生調變信號。
帶電粒子束通常以重複的方式掃描樣本，且散焦亦可以重複的方式被執行。舉例而言，調變信號產生器500可經配置以在帶電粒子束之回掃期之至少部分期間產生調變信號，且調變信號產生器500可經配置以另外或替代性地在帶電粒子束之預掃描週期之至少部分期間產生調變信號。
第6圖至第8圖為根據本發明之各個實施例之時序圖。此等圖圖示掃描帶電粒子束之掃描信號720、允許產生調變信號之觸發器730、調變信號740及調變電源電壓信號750。
第6圖及第7圖之掃描信號720在預掃描週期702及影像擷取週期703期間增加。掃描信號720在回掃或回描期(retrace)701期間減少。
第8圖之掃描信號720在線位移週期704期間維持相同位準，線位移週期704緊接於回掃期701之後。
第6圖及第8圖之觸發器730定義調變週期且允許在回掃期701期間產生調變信號740，而第7圖之觸發器730亦允許在預掃描週期702之一部分期間產生調變信號740。因此，在更長的調變週期期間產生第7圖之調變信號。
在所有圖示中，調變信號740圖示為包括週期信號，該週期信號在每一調變週期期間改變多次。此等圖示亦示例說明：，一旦調變週期結束，則調變信號740在經歷一些波動之後穩定下來。預期調變信號740在影像擷取週期703之前穩定化。應注意，此等波動趨向於衰減，且此等波動的振幅在穩定化週期期間減小。
第6圖至第8圖亦圖示緊接於調變信號740之後的調變電源電壓信號750，調變信號740在調變週期期間歸因於調變信號740之循環本質而振盪，調變信號740在穩定化週期期間波動，且在影像擷取週期期間穩定化。
應注意，在此等圖示中，穩定化週期結束於相應的預掃描週期結束時，但穩定化週期可比相應的預掃描週期更短。需要穩定化週期結束於相應的影像擷取週期之前。
調變信號產生器500可具有多個配置，該多個配置中之一些配置圖示於第2圖及第4圖中。調變信號產生器500可為圖案產生器中之任一種，該圖案產生器能夠在微米乃至次微米調變週期期間產生調變信號，且調變信號產生器500可在調變週期以外為相對穩定。
第2圖將調變信號產生器500圖示為包括：驅動器510、調變電路520、振盪器530及停止電路540。
調變電路520接收(a)觸發信號(諸如，觸發信號730)，該觸發信號促進產生調變信號；以及(b)來自振盪器530之高頻率週期信號，且調變電路520執行調變操作，以提供發送至驅動器510之電氣調變信號。驅動器510將電氣調變信號轉換成調變信號。藉由驅動器510向初級繞組430及440提供調變信號。
第2圖圖示控制及功率供應單元600，控制及功率供應單元600向調變信號產生器500提供電源電壓及觸發信號。
第3圖將驅動器圖示為包括兩個電晶體512及514以及電壓供應器單元516。第一電晶體512由第一電氣調變信號控制，而第二電晶體514由第二電氣調變信號控制。第一電氣調變信號及第二電氣調變信號可以反相方式或以其他方式相對於彼此時間移位，以便每次僅一個電晶體有效。
第一初級繞組430連接於電壓供應器單元516與第一電晶體512之間。第二初級繞組440連接於電壓供應器單元516與第二電晶體514之間。進行此等連接，以便流經第一初級繞組430(一旦第一電晶體512開啟)之電流沿與流經第二初級繞組440(一旦第二電晶體514開啟)之電流相反的方向流動。因此，驅動器510向初級繞組430及440注入週期(交變)調變信號。
第5圖為根據本發明之實施例之各個信號的時序圖。特定言之，第5圖圖示第一操作電壓Vman1 911、第二操作電壓Vman2 912、第一初級繞組電流Iprim1 921、第二初級繞組電流Iprim2 922，且第5圖亦包括感應於線圈420中的電流方向之說明。
第一操作電壓Vman1 911與第二操作電壓Vman2 912反相。第一操作電壓Vman1 911振盪，以使得第一操作電壓Vman1 911在第一週期901期間為正，而在第二週期902期間為負。第二操作電壓Vman2 912振盪，以使得第二操作電壓Vman2 912在第一週期901期間為負，而在第二週期902期間為正。
在第一週期901期間，第一操作電壓Vman1 911將第一電晶體512切換至第一電晶體512之操作狀態。此舉導致產生沿第一方向流經第一初級繞組430之第一初級繞組電流Iprim1 921，從而使得磁通量以順時針方式流經線圈420。電流自Vman1 911相移九十度，因此Iprim1 921在第一電晶體512開啟之後流動週期之四分之一，Iprim1 921在週期903期間流動，且在週期904期間不流動。
在週期902期間，第一電晶體512關閉，且第二操作電壓Vman2 912使第二電晶體514切換至第二電晶體514之操作狀態。此舉導致產生沿第二方向流經第二初級繞組440之第二初級繞組電流Iprim2 922，且使磁通量以逆時針方式流經線圈420。電流自Vman2 912相移九十度，因此Iprim2 922在第二電晶體514開啟之後流動週期之四分之一，Iprim2 922在週期904期間流動且在週期903期間不流動。
回頭參閱第2圖至第4圖，一旦調變週期結束，可能需要關閉或以其他方式立即終止調變信號。藉由使用停止電路540可執行此舉，停止電路540停止或至少有助於阻止非所要之電流流經線圈420。
第4圖圖示停止電路540，停止電路540經配置以使電流停止流經初級繞組，且藉由使初級繞組430與440中之任一個初級繞組的兩端短路，或藉由允許負載耗盡電磁能量之初級繞組，可執行此停止。
第4圖將調變電路520圖示為包括邏輯523、分頻器521及介面524及525。邏輯523向振盪器530、分頻器521及停止電路540發送電源電壓信號。邏輯523可指示使停止電路540停止流經線圈420之電流，或至少藉由使該電流通過負載而阻尼(dump)該電流。邏輯523可指示使停止電路540在流經線圈之電流最小時停止電流，例如，兩個電晶體512及514皆關閉之後的週期之四分之一時。在校準順序期間，可量測接收停止調變之命令(例如，當觸發信號之值變為零時)與停止電流(啟動停止電路540)之間的最佳時間差(延遲)，且可將最佳的(或次最佳的)時間差設定為導致振盪之最高速阻尼的時間差。根據本發明之另一實施例，可在帶電粒子束系統之成像操作之前決定該時間差。
振盪器530輸出高頻率週期信號，該高頻率週期信號具有表示為Fin的頻率。該高頻率週期信號可超過一百萬赫芝、十百萬赫芝、二十百萬赫芝乃至更高。
分頻器521接收Fin，且將該Fin轉換成兩個電氣調變信號，該兩個電氣調變信號相對於彼此反相(或以其他方式相對於彼此相移，以便每次僅操作驅動器510之一個電晶體或允許工作期間的電晶體之間可忽略的重疊)且處於Fin之頻率的一半的頻率。經由介面524及525發送此等電氣調變信號。
介面524及525向電晶體512及514提供電氣調變信號。此等介面524及525亦可將此等電氣調變信號之電壓或電流與第一電晶體512及第二電晶體514所需要的彼等電壓或電流匹配。
舉例而言，若Fin等於20百萬赫芝，則電氣調變信號中之每一電氣調變信號的頻率等於10百萬赫，且一個電氣調變信號可相對於另一電氣調變信號延遲50毫微秒。
約1微秒之調變週期包括：每個調變週期十個振盪。更短的調變週期可包括：更少的週期，且另外或替代性地，更短的調變週期需要更高頻率週期信號。
第9圖圖示根據本發明之實施例之方法700。方法700以步驟710開始，步驟710藉由調變信號產生器產生調變信號。步驟710繼之以步驟720，步驟720回應於調變信號且藉由電感來調變通過電源接線之電源電壓信號，以提供調變電源電壓信號。該電源電壓信號之調變改變帶電粒子束之焦距。步驟720之調變可包括：使帶電粒子束散焦。該散焦可經設計(例如，藉由焦距改變之量)以提供由帶電粒子束照射的樣本之所要的放電。
步驟720可包括以下步驟中之至少一個步驟：藉由位於電源接線之輸出附近的電感器來調變電源電壓信號，該輸出耦接至帶電粒子束源。
藉由包括週期信號之多個重複的調變信號來調變電源電壓信號。該調變信號可包括：該週期信號之至少十個週期。該週期信號之頻率可為至少十百萬赫芝。
在帶電粒子束之回掃期期間藉由調變信號來調變電源電壓信號。
在帶電粒子束之預掃描週期之至少一部分期間藉由調變信號來調變電源電壓信號。
在帶電粒子束之回掃期之至少一部分期間藉由調變信號來調變電源電壓信號。
藉由電感來調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等多個調變電源電壓信號。
藉由電感來調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等多個調變電源電壓信號，而不改變該多個電源電壓信號之間的關係。舉例而言，該等電源電壓信號之間的差可保持相同。
藉由電感來調變以下電源電壓信號中之至少一種電源電壓信號：燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓。
藉由電感來調變以下電源電壓信號中之至少兩種電源電壓信號：燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓。
藉由電感來調變電源電壓信號、停止調變及允許電源電壓信號在抓取樣本區域的影像之前穩定化，該影像由使用帶電粒子束掃描區域產生。
藉由電感來調變電源電壓信號及在通過該電感器之電流實質上為零時，停止調變。
步驟710及720可被重複多次。舉例而言，可以重複的方式產生調變信號且調變電源電壓信號。調變之時序可與帶電粒子束之掃描圖案同步，以便在預定週期(諸如，預掃描週期、回掃期或預掃描週期與回掃期之組合)期間發生調變。
此重複由步驟730說明，步驟730決定是否重複調變信號之產生及電源電壓信號之調變。若是，則步驟710跟隨步驟730之後，否則該方法可結束或等到下次應重複之步驟710及720時為止。此舉由閒置步驟740說明。
步驟710可跟隨於閒置階段740。舉例而言，該方法可回應於接收觸發及觸發之類似物，根據預定時序方案自步驟740進行至步驟710。
第10圖圖示根據本發明之實施例之方法800。方法800以步驟810開始，步驟810藉由帶電粒子束源產生帶電粒子束。自步驟810，繼續進行步驟820，步驟820藉由經由至少一個電源接線發送至少一個電源電壓信號，來控制帶電粒子束源，且藉由電感來重複地調變該至少一個電源電壓信號，以提供改變帶電粒子束之焦距之至少一個調變電源電壓信號。
步驟820可包括以下步驟中之至少一個步驟：使帶電粒子束重複散焦。
藉由位於電源接線之輸出附近的電感器來重複調變電源電壓信號，該輸出耦接至帶電粒子束源。
藉由包括週期信號之多個重複的調變信號來重複調變電源電壓信號。該調變信號可包括該週期信號之至少十個週期。該週期信號之頻率可為至少十百萬赫芝。
在帶電粒子束之回掃期期間藉由調變信號來重複調變電源電壓信號。
在帶電粒子束之預掃描週期之至少部分期間藉由調變信號來重複調變電源電壓信號。
在帶電粒子束之回掃期之至少部分期間藉由調變信號來重複調變電源電壓信號。
藉由電感來重複調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等多個調變電源電壓信號。
藉由電感來重複調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向帶電粒子束源提供該等多個調變電源電壓信號，而不改變該等多個電源電壓信號之間的關係。舉例而言，此等電源電壓信號之間的差可保持相同。
藉由電感來重複調變以下電源電壓信號中之至少一種電源電壓信號：燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓。
藉由電感重複調變以下電源電壓信號中之至少兩種電源電壓信號：燈絲電源電壓、抑制器電壓及加速電壓。
藉由電感來重複調變電源電壓信號、停止調變及允許電源電壓信號在抓取樣本區域的影像之前穩定化，該影像由使用帶電粒子束掃描區域來產生。
藉由電感來重複調變電源電壓信號，及在通過該電感器之電流實質上為零時，停止調變。
步驟830緊接於步驟820之後，且步驟830包括獲得樣本區域之影像。可在影像擷取週期期間獲得該等影像。
電源電壓信號之調變可發生在閒置期期間，該等閒置期可包括回掃期、預掃描週期或回掃期及預掃描週期之部分。可允許電源電壓信號在經調變之後穩定化。
儘管本文已說明且描述了本發明之某些特徵結構，但一般技術者現將想起許多修改、替代、改變及均等物。因此，應理解，附加申請專利範圍意欲包括屬於本發明之真實精神的所有此等修改及改變。
100．．．帶電粒子束源
110．．．電極
120．．．電極
130．．．電極
132．．．電極
140．．．接地電極
150．．．尖端
152．．．帶電粒子束
200．．．電纜
201．．．輸入
202．．．輸出
210．．．電源接線
220．．．電源接線
230．．．電源接線
240．．．電源接線
300．．．帶電粒子束控制器
310．．．燈絲電壓供應器
320．．．抑制器電壓供應器
330．．．提取器電壓供應器
340．．．加速電壓供應器
400．．．電感器
420．．．線圈
430．．．第一初級繞組
440．．．第二初級繞組
500．．．調變信號產生器
510．．．驅動器
512．．．第一電晶體
514．．．第二電晶體
516．．．電壓供應器單元
520．．．調變電路
521．．．分頻器
523．．．邏輯
524．．．介面
525．．．介面
530．．．振盪器
540．．．停止電路
600．．．控制及功率供應單元
700．．．方法
701．．．回掃期
702．．．預掃描週期
703．．．影像擷取週期
704．．．線位移週期
710．．．步驟
720．．．步驟/掃描信號
730．．．步驟/觸發信號/觸發器
740．．．步驟/調變信號
750．．．調變電源電壓信號
800．．．方法
810．．．步驟
820．．．步驟
830．．．步驟
900．．．調變器
901．．．第一週期
902．．．第二週期
903．．．週期
904．．．週期
911．．．第一操作電壓
912．．．第二操作電壓
921．．．第一初級繞組電流
922．．．第二初級繞組電流
999．．．調變信號
1111．．．樣本
在本說明書之結束部分中，特定指出且清楚地主張了本發明。然而，本發明既關於組織，又關於操作方法，以及本發明之目標、特徵結構及優點，當閱讀隨附圖式時，可最好參閱以下實施方式來理解本發明，其中：
第1圖圖示樣本及系統，該系統包括根據本發明之實施例配置的調變器；
第2圖圖示系統，該系統包括根據本發明之另一實施例之調變器；
第3圖圖示系統，該系統包括根據本發明之另一實施例之調變器；
第4圖圖示系統，該系統包括根據本發明之另一實施例之調變器；
第5圖圖示根據本發明之實施例之帶電粒子束系統的控制及調變信號；
第6圖圖示根據本發明之實施例之帶電粒子束系統的掃描信號及調變電源電壓信號；
第7圖圖示根據本發明之另一實施例之帶電粒子束系統的掃描信號及調變電源電壓信號；
第8圖圖示根據本發明之另一實施例之帶電粒子束系統的掃描信號及調變電源電壓信號；
第9圖圖示用於產生調變信號及調變根據本發明之實施例之帶電粒子束系統之電源電壓信號的方法；以及
第10圖圖示產生調變信號及控制根據本發明之實施例之帶電粒子束系統的方法。
應瞭解，為簡單且清晰地說明起見，圖中所示元件未必按比例繪製。舉例而言，為清晰起見，元件中之一些元件的尺寸可相對於其他元件為誇示。此外，若適當考慮，則可在圖示之間重複使用元件符號，以指示相應或類似的元件。
100．．．帶電粒子束源
110．．．電極
120．．．電極
130．．．電極
132．．．電極
140．．．接地電極
150．．．尖端
152．．．帶電粒子束
200．．．電纜
201．．．輸入
202．．．輸出
210．．．電源接線
220．．．電源接線
230．．．電源接線
240．．．電源接線
300．．．帶電粒子束控制器
310．．．燈絲電壓供應器
320．．．抑制器電壓供應器
330．．．提取器電壓供應器
340．．．加速電壓供應器

权利要求:
Claims (15)
[1] 一種調變器，該調變器包含：一調變信號產生器，該調變信號產生器經配置以產生一調變信號；以及一電感器，該電感器經配置以接收該調變信號及藉由電感來執行一電源電壓信號之一調變，該電源電壓信號通過一電源接線，以提供一調變電源電壓信號，其中該電源電壓信號之該調變改變一帶電粒子束之一焦距。
[2] 如請求項1所述之調變器，其中該電源電壓信號之該調變使一樣本處之該帶電粒子束散焦。
[3] 如請求項1所述之調變器，其中該電源接線包含一輸入及一輸出，該輸入耦接至一帶電粒子束控制器，該輸出耦接至一帶電粒子束源；該電感器位於接近該輸出處。
[4] 如請求項1所述之調變器，其中該電感器包含：一第一繞組，該第一繞組經配置以接收該調變信號；以及一線圈，其中該電源接線通過由該線圈界定之一孔。
[5] 如請求項1所述之調變器，其中該調變信號產生器經配置以產生該調變信號，該調變信號包含一週期信號之多個重複。
[6] 如請求項1所述之調變器，其中該調變信號產生器經配置以產生該調變信號，該調變信號包含一週期信號之至少十個重複，該週期信號具有至少十百萬赫芝的一頻率。
[7] 如請求項1所述之調變器，其中該調變信號產生器經配置以在該帶電粒子束之一回掃期期間產生該調變信號。
[8] 如請求項1所述之調變器，其中該調變信號產生器經配置以重複地產生該調變信號，且該電感器經配置以藉由電感來重複地調變該電源電壓信號。
[9] 如請求項1所述之調變器，其中該電感器經配置以藉由電感來調變通過多個電源接線之多個電源電壓信號，以提供多個調變電源電壓信號，向一帶電粒子束源提供該等多個調變電源電壓信號。
[10] 如請求項9所述之調變器，其中該電感器經配置以調變該等多個電源電壓信號，而不改變該等多個電源電壓信號之間的關係。
[11] 如請求項9所述之調變器，其中該等多個電源電壓信號為燈絲電源電壓、一抑制器電壓及一加速電壓。
[12] 一種帶電粒子束系統，該帶電粒子束系統包含：一帶電粒子束源，該帶電粒子束源經配置以產生一帶電粒子束；一帶電粒子束控制器，該帶電粒子束控制器經配置以藉由經由多個電源接線向該帶電粒子束源提供多個電源電壓信號，來控制該帶電粒子束源；以及一調變器，該調變器經配置以藉由電感來調變該等多個電源電壓信號中之一或更多電源電壓信號，以提供改變該帶電粒子束之一焦距的一或更多調變電源電壓信號。
[13] 如請求項12所述之帶電粒子束，其中該調變器包含：一調變信號產生器，該調變信號產生器經配置以產生一調變信號；以及一電感器，該電感器經配置以接收該調變信號及藉由電感來執行該一或更多電源電壓信號之一調變，該一或更多電源電壓信號通過該多個電源接線，以提供該一或更多調變電源電壓信號。
[14] 如請求項13所述之帶電粒子束系統，其中該帶電粒子束系統經配置以：在影像擷取週期期間獲得一樣本區域的影像；以及調變該一或更多電源電壓信號及允許該一或更多電源電壓信號在閒置期期間經調變之後穩定化，其中一影像擷取週期跟隨一閒置期。
[15] 一種用於調變一帶電粒子束之方法，該方法包含以下步驟：藉由一調變信號產生器來產生一調變信號；以及回應於該調變信號且藉由電感來調變通過一電源接線之一電源電壓信號，以提供一調變電源電壓信號，其中該電源電壓信號之調變改變該帶電粒子束之一焦距。

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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